Picarro宣布用于半导体晶圆厂的气体分子污染监测系统

winniewei 提交于 周三, 03/25/2020
Picarro宣布用于半导体晶圆厂的气体分子污染监测系统

高通量系统以万亿分之一的水平在线检测关键的AMC

Picarro宣布推出经我们完全优化的AMC监控系统——Picarro SAM(取样Sample、分析Analyze和监测Monitor)。该系统由Picarro在业界领先的基于CRDS的传感器组成,该传感器已集成到最新的采样系统中。SAM单元可提供高通量采样,而不会影响传感器的性能。

新的Picarro SAM系统是从组件产品到系统解决方案的重大转变。一站式的设计、制造和测试系统的好处包括:

  • 针对Picarro硬件和软件设计且完全集成的系统——无集成兼容性问题
  • Picarro SAM系统进行过精心优化——系统性能符合Picarro Semi系统规格

新发明的、正在申请专利的气体输送歧管促成了SAM的显着性能优势,使其在很短的时间内达到万亿分之几(ppt)的检测灵敏度,并能快速将SAM系统恢复到基线灵敏度水平。这使得SAM成为在线实时AMC监视系统的理想选择。该系统带有易于使用的图形用户界面,可进行各种图表和趋势分析。

SAM可以配置为从8个或16个端口采样,并且目前可用于检测氨、氟化氢和盐酸,这三个关键AMC会影响半导体晶圆的产量。展望未来,我们将根据Picarro的半导体产品路线图为其它气体提供SAM系统。

SAM系统路线图还将支持复杂的AMC分析,以帮助客户更准确地快速识别AMC事件的位置,从而允许采取更快的纠正措施,以提高与AMC相关的晶圆产量。

关于Picarro:

Picarro为实时AMC监测提供行业领先的解决方案。与现有的AMC测量五分11选5(例如离子迁移谱(IMS)和离子色谱法)相比,其光腔衰荡光谱五分11选5(CRDS)具有明显的优势。 Picarro的SI2000系列分析仪可在数秒而不是数小时内对快速洁净室中的污染物进行响应。 Picarro分析仪具有万亿分之一(ppt)含量水平的实时连续分析功能,可为无尘室、FOUP和晶圆厂设备中的AMC监控提供污染事件的预警。有关Picarro Inc.的其它信息,请访问semi.picarro.com或我们的Twitter。

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